亮視野與暗視野(bright field/dark field)
簡單的說，亮視野就是直接接收反射光，暗視野則是接收散射光

一般光學顯微鏡皆是在亮視野底下操作，而暗視野則可以觀察到物體的輪廓，把一些結構上的問題顯現(xiàn)出來。在亮視野下，物體平滑的區(qū)域接收到正向打光的光源并反射至物鏡而產(chǎn)生亮的影像，而表面粗糙的區(qū)域則因為散射的問題，相對起來就比較暗，這種暗是因為光散射的問題而不是因為材質吸收光的關係，而在暗視野底下，照明光源的中央被一遮光罩遮住，只留下周圍的光源斜射至觀察物上，在此大角度的照射下，光滑的表面所反射的光無法進入物鏡，因此觀察物的背景大體上都是暗的，至于粗糙的表面則因為散射的作用得以接收到反射光，所以反而是一些輪廓有明亮的影像
說明著入射光與反射光角度的關係，
則是分別顯示在亮視野與暗視野底下所拍攝到的晶片表面圖。

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