光電子能譜化學(xué)分析技術(shù)原理是依據(jù)光電效應(yīng)現(xiàn)象
微探針分析技術(shù)
表面成分和原子狀態(tài)分析的樣品里，被分析的體積是一個立方微米
。數(shù)量級時，稱為顯微分析。微區(qū)分析通常采用一定能量的一次束，如
電子，離子，光子和中性粒子(原子或分子)，作為微探針去激發(fā)固體樣
品，結(jié)果產(chǎn)生反映樣品表面特性的二次束，對二次束進(jìn)行能譜或質(zhì)譜分
析，即獲得有關(guān)表面的元素組成、原子體狀態(tài)等信息。
從特征X射線分析物質(zhì)中元素，有兩種方法——波譜分析法和能譜
分析法。波譜分析法是利用晶體對某特征X射線發(fā)生衛(wèi)射的條件來鑒定
特征X射線的波長。能譜分析法是測量X射線光量子的能量來確定在激發(fā)
體積中物質(zhì)包含什么元素。
光電子能譜化學(xué)分析技術(shù)
在表面分析工作中，有時需要狀態(tài)分析，即分析原子間化學(xué)的結(jié)合
狀態(tài)、電子束縛能，電荷分布和電子狀態(tài)等。這些信息對研究表面化學(xué)
反應(yīng)、表面吸附和催化，以及表面的氧化和腐蝕等都是十分重要的。光
和物質(zhì)相互作用所產(chǎn)生的光電效應(yīng)，光電子動能和各級電子的結(jié)合能有
關(guān)，所以應(yīng)用光電子能譜法進(jìn)行表面化學(xué)狀態(tài)分析較為有效。
光電子能譜化學(xué)分析技術(shù)(ESCA)的原理是依據(jù)光電效應(yīng)現(xiàn)象。當(dāng)用
單色光照射晶體固體表面時，會把固體表面中電子打出，這種現(xiàn)象稱為
光電效應(yīng)，所打出的電子稱為光電子
