電鏡分辨率較高和景深大約為光學(xué)顯微鏡10倍
作為現(xiàn)代顯微分析儀器的主要手段．掃描電鏡可以以較高的分辨率
(0.4～3nm)和大的景深(約為光學(xué)顯微鏡的10倍)清楚地顯示材料
的表面和斷面信息、提供材料的優(yōu)劣原因等，廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域
．并日益受到人們的重視。
掃描電鏡特點(diǎn)
掃描電鏡 具有操作簡(jiǎn)便且得到的顯微結(jié)構(gòu)信息直觀的特
點(diǎn)．成為目前材料微區(qū)顯微結(jié)構(gòu)觀察和成分分析較常見的工具。
掃描電鏡的主要特點(diǎn)如下：
(1)圖像分辨率高、放大倍率大。目前掃描電鏡的分辨率為
3～O．4 nm．相對(duì)應(yīng)較大有效放大倍率可達(dá)10萬(wàn)～150萬(wàn)。
(2)景深大。一般情況下．掃描電鏡的景深是透射電鏡的10
倍，是光學(xué)顯微鏡的100倍，特別適合觀察一些粗糙不平的斷門。
(3)無(wú)損分析。對(duì)大部分材料，只要尺寸能夠放人樣品室的話，
就可采用合適的條件。無(wú)須對(duì)試樣進(jìn)行任何處理，直接進(jìn)行觀察
分析。
(4)試樣制備簡(jiǎn)單。試樣可以是自然表面、斷口、塊體、反光
掃描電鏡的發(fā)展簡(jiǎn)史
掃描電鏡的基本原理由Knoll于20世紀(jì)30年代提出。隨后Arden
ne于1938年通過(guò)理論計(jì)算和實(shí)驗(yàn)對(duì)磁透鏡系統(tǒng)進(jìn)行了改進(jìn)，從而能
夠縮小電子束斑直徑以得到更高的分辨率。Ardenne的實(shí)驗(yàn)裝置實(shí)
際上是掃描透射電鏡(scaming transmission electronmicroscopy
．STEM)，既允許電子穿透薄樣品直接在膠卷上成像．同時(shí)也可以
通過(guò)收集二次電子與背散射電子信號(hào)通過(guò)陰極射線管成像。
