超精密制造三維測量加工表面檢測光切顯微鏡
通過上述納米機(jī)械加工表面微觀形貌的各類檢測儀器與方法的
對比，明確基于原子力顯微鏡的納米加工表面檢測的基礎(chǔ)理論、基
本方法、儀器技術(shù)等問題，從三維測量角度建立納米加工表面原子
力顯微鏡檢測的基本概念、模型、測量方法，通過對微觀形貌的AF
M三維檢測，發(fā)現(xiàn)超精密加工中的問題�？偨Y(jié)三維表面形貌評價體
系中各參數(shù)的定義和計算方法，對評定基準(zhǔn)產(chǎn)生、濾波和校準(zhǔn)量塊
等一系列相關(guān)問題進(jìn)行討論。三維測量和二維測量所提取的表面信
息不同，測量參數(shù)值也不同；實驗結(jié)果的分析對比表明，一般三維
粗糙度測量值比二維測量值大。
在研究三維表面微觀形貌的譜矩特征基礎(chǔ)上，系統(tǒng)地提出三維
表面粗糙度參數(shù)的譜矩表達(dá)方式。對微納米表面和表層完整性的評
價性能的建議也具有較強(qiáng)的啟迪作用。
在未來的工作中，AFM不僅可以檢測復(fù)雜的三維表面微觀形貌
，可以從三維信息中用小波等方法提取規(guī)律性的誤差，還可以建立
測量結(jié)果與超精密制造(各種加工方法加工工藝)之間的因果關(guān)系，
預(yù)報表面質(zhì)量及指導(dǎo)加工制造的工藝，特別是如何根據(jù)表面測量數(shù)
據(jù)深入了解加工工藝及預(yù)報加工表面的質(zhì)量等，為納米級機(jī)械加工
檢測技術(shù)提供理論指導(dǎo)。這些工作將為原子力顯微鏡提供更廣泛的
應(yīng)用空間。
