氧化形貌樣品檢測可用低倍顯微鏡觀察記錄氧化膜表面

樣品的檢測方法

　　根據(jù)需求，氧化形貌可用多種方法進(jìn)行觀察，多數(shù)情況下推薦下面
的流程，首先，用肉眼和低倍顯微鏡觀察樣品，記錄氧化膜表面是
否平整、起皺、生成瘤狀物或開裂，在中心或邊緣位置是否有加速腐蝕
現(xiàn)象。

這個(gè)步驟相當(dāng)重要，因?yàn)殡S后的觀察一般僅限于局部區(qū)域特定位
置的顯微觀察，所以需要知道其是否有代表性，樣品表面不同區(qū)域是否
有差異。再就是樣品制備截面前需要用掃描電鏡對其表面進(jìn)行觀察，如
果發(fā)現(xiàn)某一區(qū)域有重要的特征，必須立刻拍照，否則會(huì)錯(cuò)失良機(jī)。另外

   現(xiàn)代掃描電鏡還可確定所觀察到的指定形貌特征選區(qū)的化學(xué)成分，將
在下面進(jìn)行介紹。
　　

　　觀察氧化膜表面形貌后，一般還要對其進(jìn)行x射線衍射分析，以確
定其相組成，同時(shí)還可獲得膜中的應(yīng)力狀態(tài)、織構(gòu)等附加信息。

(本文由上海光學(xué)儀器廠編輯整理提供, 未經(jīng)允許禁止復(fù)制http://www.cshtwl.com)