著光學(xué)加工和精密機(jī)械制造工業(yè)激光測長儀器
激光加工
激光加工,主要是利用激光能量在時(shí)間和空間上的高度集中,來進(jìn)
行打孔、切割、焊接等。與機(jī)械方法相比,激光加工速度陜,質(zhì)量好,
而且,加工時(shí)無須接觸工件,因此可保持工件清潔。某些機(jī)械加工不能
承擔(dān)的工作,激光可以勝任。
激光切割
激光切割,其實(shí)與激光鉆孔是一樣的,只要將聚得很小的激光束,
沿著一定的方向移動(dòng)起來,就成了激光刀。它也是利用激光的熱效應(yīng),
當(dāng)然還要用連續(xù)激光,而且功率要很高,如千瓦量級的二氧化碳激光器
。
比起普通切割機(jī)來說,激光切割有速度快、質(zhì)量好、切割線窄等優(yōu)
點(diǎn)。6毫米厚的鐵板,用一臺(tái)二氧化碳激光器切割,每分鐘可切割280厘
米。由于激光光點(diǎn)尺寸極小,所以可以切割各種微小的、形狀復(fù)雜的工
件。隨著電子工業(yè)的飛速發(fā)展,在一塊不大的半導(dǎo)體基片上要做成許多
個(gè)集成電路,準(zhǔn)確無誤地將它們分割開來,必須有良好的劃片工具。激
光劃片就是理想的工藝。
激光測長
隨著光學(xué)加工和精密機(jī)械制造工業(yè)的發(fā)展,要求測量的精度越來越
高,一般機(jī)械方法已無法滿足要求。然而,一個(gè)物體的長度若用光波的
波長作為尺度,那么測量精度至少可達(dá)十分之一個(gè)波長,即在0.1微米
以內(nèi)。通常利用光的干涉特性來實(shí)現(xiàn)以光波波長為尺度的長度計(jì)量。但
是,因?yàn)橛霉獬呖梢粤慷鹊妮^長長度和光的單色性有關(guān),普通光源發(fā)出
的光輻射單色性比較差,因而有效量度長度L不大。比如用氦燈發(fā)出的
黃光(波長587.6納米,△入=0.0045納米)做尺子,L值是7.7厘米;
用單色性之冠的氪燈的紅光(波長605.7’納米,△入=0.000095納米)
做尺子,L值也只有390厘米。激光的單色性極好,用它做尺子,L值就
很大。比如以采用特種技術(shù)的氟氖激光器輸出的紅光做尺子,L值可高
達(dá)200千米。
激光測長儀的原理還可用來制造激光定位儀,它的定位精度比機(jī)械
定位要高很多。