材料分析中較常用的技術(shù)是光學(xué)顯微鏡技術(shù)
固體顯微鏡技術(shù)
材料分析中較常用的顯微技術(shù)是光學(xué)顯微鏡技術(shù)．．即使今天，
它仍然足觀察特征尺寸大于lμm的應(yīng)用較普遍的工具之一。而對(duì)于
更小的特征，則選擇電子顯微鏡技術(shù)，如掃描電子顯微鏡(SEM)和
透射電子顯微鏡(TEM)。顯微鏡第大家族是掃描探針型顯微鏡，如
掃描隧道娃微鏡(STM)和原子力顯微鏡(AFM)。在這些新技術(shù)中，其
他問(wèn)題如振動(dòng)分離和原子探針的加工要比樣品制備產(chǎn)生的問(wèn)題更嚴(yán)重，
目前科學(xué)領(lǐng)域較常用的光學(xué)顯微鏡和電子碌微鏡的樣品制備的一般步驟
?受樣品制備(以及相關(guān)設(shè)備和技能)影響較大的技術(shù)，毫無(wú)疑問(wèn)是TEM。
光學(xué)和電子顯微鏡分析中的樣品制備極其重要，基本的問(wèn)題就
是制備一個(gè)能真實(shí)代表樣品的檢材。顯然第一步是切割成一定尺寸
的樣本，并通過(guò)打磨拋光將需要測(cè)試的樣品特征顯露出來(lái)。盡管這
些步驟可應(yīng)用于所有的材料，但一般稱作金相學(xué)。光學(xué)和SEM反射
模式，還需要有蝕刻過(guò)程
