表面、厚度、表面粗糙度測量被測樣品光學(xué)儀器
干涉儀
干涉儀是一種利用光干涉效應(yīng)對表面、厚度、表面粗糙度、光
功率、材料均質(zhì)性和距離等進(jìn)行準(zhǔn)確測量的儀器設(shè)備。干涉儀的分
辨率由所用的光波長決定．可達(dá)到納米的量級。為了得到被測樣品
的特性．必須獲取并分析干涉儀所得到的干涉圖。雙光束干涉儀可
以獲得兩束光問光程差的相關(guān)信息。干涉儀可以做出準(zhǔn)確測量，但
必須注意儀器校準(zhǔn)和系統(tǒng)特性。
如果被測面有缺陷，如凸包或孔洞．條紋便會在其周圍發(fā)生彎
曲。為了查看其表面是凸包還是孔洞．必須先確定光程差遞增的方
向。將被測元件向一個方向推動，并注意觀察條紋數(shù)量。當(dāng)推動時
條紋數(shù)目增加方向的光程差較小。如果右邊的條紋有更高的光程差
．意味著兩表面之間的空隙在右邊．那么這種干涉圖說明在被測元
件的下表面有個孔洞。在缺陷位置上．從左到右拉時條紋表現(xiàn)出光
程差增加的話．則表示參考光束在缺陷區(qū)域內(nèi)傳播的距離更遠(yuǎn)。
補(bǔ)償板
補(bǔ)償舨對一個相干長度短的光源來說是很重要的。如果分束器
的上表面是反射面，測量光束要到達(dá)成像透鏡需經(jīng)過分束器三次，
而參考光束僅通過它一次。為了匹配所有波長下的雙光束在玻璃中
的路程相等，必須在參考臂中放置一個與分束器厚度相同的補(bǔ)償板
。平板由相同玻璃材質(zhì)制成，以匹配光束的色散。如果干涉儀使用
立方分束器，就不需要補(bǔ)償板。
