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電子顯微鏡低倍觀察中圖像的中間部分清晰邊緣模糊
軸上色差(中心色差)
軸上色差是由于加速電壓或透鏡激勵電流改變,引起磁透鏡焦距變 化而產(chǎn)生的。當(dāng)物點在軸上時,由于電子速度不同
放大色差 磁透鏡中,當(dāng)物點不在軸上時,由于焦距的變化,而引起放大倍數(shù) 的不同,這種像差叫放大色差。一般表現(xiàn)為圖像中心部位清晰,邊緣處 模糊,這種現(xiàn)象在低倍率及觀察厚樣品時尤其明顯。放大色差是由于電 子束在穿過標(biāo)本時,損失的能量不同,導(dǎo)致穿透樣品后的電子速度不同 而產(chǎn)生的。因而在觀察電鏡標(biāo)本時,應(yīng)盡可能采用薄樣品,一般不超過 80~100 nm。若觀察厚樣品則應(yīng)采用高電壓。
旋轉(zhuǎn)色差 磁透鏡中,由于磁場的影響,象轉(zhuǎn)角隨高壓和透鏡電流的波動而波 動,引起旋轉(zhuǎn)色差。象的旋轉(zhuǎn)方向與磁場方向有關(guān),故電鏡中物鏡及投 影鏡的磁場方向應(yīng)該相反,便可適當(dāng)?shù)匮a償旋轉(zhuǎn)色差,若在觀察中發(fā)現(xiàn) 旋轉(zhuǎn)色差嚴(yán)重,應(yīng)檢查物鏡電流方向是否正常。四、象散
電磁透鏡的象散(astigmatism)是由于透鏡中極靴的機械不對稱或 極靴材料導(dǎo)磁率不均勻而引起透鏡磁場不對稱所致,結(jié)果造成物點的像 產(chǎn)生兩條焦線,形成模糊像。按理論計算,極靴內(nèi)孔精 度AR應(yīng)為0.028μm,平面精度也要求達(dá)到相似值,目前還沒有適當(dāng)?shù)?BR>方法可以達(dá)到這樣高的精度。為此,人們研制一套消象散裝置進(jìn) 行校正,消象散裝置分機械和電磁式兩種。存電鏡觀察前必須對象散進(jìn) 行校正,以滿足分辨本領(lǐng)的要求。 |