微型泵,微加工技術(shù)磨損表面粗糙度計(jì)量?jī)x
微米世界是一個(gè)很奇妙的世界。在這個(gè)世界里，頭發(fā)絲會(huì)顯得
很粗，分子會(huì)觸手可及。傳統(tǒng)意義上的微米尺度已屬微觀世界。而
從現(xiàn)代意義上講，微米尺度仍屬宏觀的范疇，它所涉及的仍是物體
，尚未觸及物質(zhì)的結(jié)構(gòu)。在微米世界里，確實(shí)存在實(shí)實(shí)在在的機(jī)械
，如微型齒輪；存在實(shí)實(shí)在在的結(jié)構(gòu)，如微型梁、微梳齒、微管道
；存在實(shí)實(shí)在在的系統(tǒng)，如微加速度計(jì)、微陀螺、微慣性測(cè)量組合
、微馬達(dá)、微型泵等。微加工技術(shù)出現(xiàn)以前，這樣的情景難以想象
。但隨著微電子加工技術(shù)的發(fā)展，所有這些都一個(gè)個(gè)變成了現(xiàn)實(shí)。
微米技術(shù)的發(fā)展使人們很快想到了納米，也切實(shí)推動(dòng)了納米技術(shù)的
發(fā)展和進(jìn)步。納米領(lǐng)域與分子領(lǐng)域僅一步之遙。掃描隧道顯微鏡的
出現(xiàn)，使人們可以用機(jī)械的手段搬動(dòng)原子。從此，物理和化學(xué)的界
限將不再像原來那么清晰，機(jī)械運(yùn)動(dòng)與化學(xué)反應(yīng)的行為也將不再那
么截然不同。在不久的將來，物理的機(jī)械動(dòng)作也許會(huì)代替原來的化
學(xué)反應(yīng)。通過機(jī)械作用也許會(huì)創(chuàng)造出新的材料。
在微米世界中，無論是機(jī)械的運(yùn)動(dòng)還是結(jié)構(gòu)的變形或是系統(tǒng)的
響應(yīng)，主要都是通過力來作用的。在各種力學(xué)環(huán)境中，有些是主動(dòng)
利用的力(如驅(qū)動(dòng)力)，有些是被動(dòng)涉及的力(如阻力)；有些是和宏
觀環(huán)境完全相同的，有些是微觀環(huán)境特有的。這些力之間關(guān)系錯(cuò)綜
復(fù)雜，重要程度也不盡相同，如果弄不清其中的主導(dǎo)力，許多實(shí)際
中重要的現(xiàn)象是無法科學(xué)解釋的，如微機(jī)電系統(tǒng)中的動(dòng)能、動(dòng)力學(xué)
、靜摩擦、摩擦、黏性、磨損等，巨大的微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)應(yīng)用潛力
是很難開發(fā)出來的，更談不上其優(yōu)化的利用。而分析好、認(rèn)識(shí)好并
利用好各種力，就會(huì)對(duì)微米系統(tǒng)的工作效果產(chǎn)生巨大影響。因此，
系統(tǒng)地介紹微機(jī)電系統(tǒng)的力學(xué)是十分必要的。
