微機電技術(shù)的應(yīng)用-物質(zhì)是由基本粒子組成的
宏觀系統(tǒng)有很好接口和聯(lián)系的系統(tǒng)都可稱為微機電系統(tǒng)。微
米尺度的力學(xué)既不是僅限于微機電系統(tǒng)的背景，更不是微機電系統(tǒng)
技術(shù)的全部。但鑒于微機電系統(tǒng)的含義很寬泛，而當(dāng)前微米尺度的
力學(xué)的背景也主要是微機電系統(tǒng)。因此，姑且將這一微米尺度的力
學(xué)稱為微機電系統(tǒng)力學(xué)。
按照人們當(dāng)今的認(rèn)識水平，物質(zhì)是由基本粒子組成的，其物理
的基本力有4個，即弱相互作用力、強相互作用力、電磁力及引力
。其中弱相互作用力和強相互作用力是短程力，從作用行程角度對
于微米尺度來說可以忽略。引力是長程力，但其對質(zhì)量的依賴很強
。只有在質(zhì)量很大的情況下，引力才比較明顯。在微尺度下，其量
級又比電磁力小許多數(shù)量級。因此，對微機電系統(tǒng)來說，從數(shù)量級
的角度瑪l力也是可以忽略的�？梢钥闯觯瑥奈锢砘玖Φ淖饔煤�
影響看，在微機電系統(tǒng)環(huán)境中電磁力的作用是較主要的作用。
根據(jù)作用力性質(zhì)的不同，有些力以表面作用形式為主，有些力
以體積作用形式為主，也有些力以線作用形式為主。微米系統(tǒng)相對
宏觀系統(tǒng)，其整體三維尺寸都同時收縮，但從量級上看，體積的收
縮較快，面積的收縮次之，線的收縮較慢。因此，在同等力密度情
況下，隨著尺度向微米尺度的減小，體力變得越來越微弱，面力次
之，線力變得越來越明顯。
可以看出，微機電系統(tǒng)雖然在幾何上可能是宏觀系統(tǒng)的等比例
縮小，但各種特性并非簡單相似。幾何上的縮小，不僅引發(fā)了尺度
的改變，更主要是引發(fā)了系統(tǒng)力學(xué)環(huán)境、力學(xué)特性、力學(xué)行為、力
學(xué)規(guī)律等的變化。正是這種變化導(dǎo)致了微機電系統(tǒng)特殊的力學(xué)特性
和規(guī)律。因此，我們期待通過本書為研究者搭建一個討論和分析的
平臺。
