有機集成芯片微電路和微機械焊接工業(yè)顯微鏡
發(fā)展微機電系統(tǒng)的途徑和技術(shù)條件的不同，才出現(xiàn)了上述不同
的定義形式。
那么該如何定義MEMS呢?我們認為定義MEMS應從尺寸和功能兩
個方面出發(fā)，而不應限定于任何制作工藝或材料，因為MEMS的工藝
技術(shù)是不斷發(fā)展和完善的，制作MEMS的材料也是多樣的。
因此我們認為微機電系統(tǒng)的定義和內(nèi)涵是：采用微機械和微電
子加工方法，把微電路和微機械按功能要求有機集成在芯片上，關(guān)
鍵尺寸通常在亞微米至亞毫米范圍內(nèi)，集微機械、微執(zhí)行器以及信
號處理和控制、接口、通信和電源等于一體的可批量制作的自動化
和智能化的微系統(tǒng)。它的基本特征是微型化、多樣性和特有的微電
子技術(shù)。
隨著社會的進步和人們需求的日益增長，尤其是戰(zhàn)爭的需求，
許多方面都在期待著微機電系統(tǒng)的出現(xiàn)。迫使人們用新的觀點，綜
合應用不同學科中的先進技術(shù)，為需求目標服務(wù)。
微機電系統(tǒng)由于尺度小、集成度高、功能靈活而強大，使人類
的操作、加工能力延伸到微米級空間，也使其成為21世紀較富于挑
戰(zhàn)性的科學技術(shù)領(lǐng)域之一。這種技術(shù)跨越將深刻影響國防科學技術(shù)
和國民經(jīng)濟的發(fā)展，它將使未來戰(zhàn)爭改變面貌。同時作為新興的高
技術(shù)產(chǎn)業(yè)，微機電系統(tǒng)已經(jīng)成為各國政府競相爭奪的技術(shù)制高點。
