小型化和微型化微機電結(jié)構(gòu)組裝輔助工業(yè)顯微鏡
微型化
微機電系統(tǒng)對外界空間的要求極小，很節(jié)省空間，從而使整體
系統(tǒng)結(jié)構(gòu)會小型化和微型化，整體系統(tǒng)會更加緊湊，由此可以看出
微機電系統(tǒng)器件的微小程度。另外，微機電系統(tǒng)做得越小，它的固
有頻率就越高。它可以感知的外部信號的范圍就更大。質(zhì)量越小、
頻率越高，這是自然界很重要的規(guī)律。微機電系統(tǒng)尺寸越小，它抗
破壞的能力就越強。如果把一個螞蟻或一個小昆蟲，從很高的地方
扔下來，它很少能跌死。但是人要是從很高的地方掉下來，那就必
死無疑了。這就是因為體積變小，承載能力增強。
同樣重要的是，新設(shè)計可能導(dǎo)致高質(zhì)量和沒有畸變的注射成
型。而相比之下，現(xiàn)有設(shè)計由于不同的壁厚難以注射成型。這個問
題是由于主壁已經(jīng)完全凝固后，由于襯墊的持續(xù)冷卻所造成。當(dāng)在
周圍已凝固壁的約束下，隨著襯墊材料的繼續(xù)收縮，這將導(dǎo)致殘余
應(yīng)力或鎖定應(yīng)力的產(chǎn)生。
在這種情況下，一個額外的好處是較優(yōu)型腔數(shù)量會減少。因此
，即使特征數(shù)量增加了，多腔模的成本也會降低。這個零件原來實
際上是在一個八腔模中制造的，而對于重新設(shè)計的蓋子，四腔模將
是較經(jīng)濟的。
