微電子集成技術(shù)電路板分析圖像顯微鏡廠家
隨著化學(xué)微系統(tǒng)的發(fā)展，采用集成技術(shù)，將以氧化物陶瓷為主的功能材
料集成到Si基板上，用以提高傳感器或驅(qū)動(dòng)器的傳感功能，這一方法已引
起了大家的廣泛關(guān)注。最近，微系統(tǒng)不僅應(yīng)用在脈沖加熱、瞬態(tài)分析、具
有自清潔工藝的爐型微氣體傳感器上，而且在微電子學(xué)的低功耗、集成方
式及可靠性等方面也有拓展研究。然而，從標(biāo)準(zhǔn)互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CM
OS)技術(shù)一濺射和氣相化學(xué)沉積(CVD)中，并不能經(jīng)常獲得此功能材料。在
這種情況下，傳感器材料往往是單獨(dú)獲得的，需要采用如微系統(tǒng)中“活性
層”這樣的新技術(shù)來實(shí)現(xiàn)傳感器材料的制備。
對于微型氣體傳感器來說，一少部分科學(xué)技術(shù)團(tuán)體認(rèn)為可以用一些典
型的化學(xué)途徑來實(shí)現(xiàn)，如傳統(tǒng)的化學(xué)沉積或者溶膠一凝膠方法，具有靈敏
度高、可控性好的優(yōu)點(diǎn)并且用可用量產(chǎn)的粉末材料來代替通過真空系統(tǒng)獲
得的薄膜材料。在這些化學(xué)反應(yīng)方法中．往往通過制作粉末狀功能材料來
獲得所需的相關(guān)功能，但這樣會(huì)增加處理時(shí)間，同時(shí)成本也依賴于沉積的
設(shè)備以及方式。此外，傳感器或驅(qū)動(dòng)器也可通過一種叫作微縮印刷的技術(shù)
來制作，即在微型裝置上涂布預(yù)先處理的陶瓷材料來進(jìn)行制造，這種方法
也在別的文獻(xiàn)中有所敘述。與此同時(shí)，應(yīng)先將功能材料與有機(jī)載體相結(jié)合
，再通過傳統(tǒng)的絲網(wǎng)印刷或者更加復(fù)雜的滴沉積技術(shù)(如墨水噴射系統(tǒng))來
制作功能薄膜。最近的研究報(bào)告表明采用沉積技術(shù)成功制造出了納米尺度
的陶瓷觸媒轉(zhuǎn)化器粒子，它可應(yīng)用在氣體傳感器方面。該方法是一種簡單
、快速的制備方法，且不需要進(jìn)一步的高溫?zé)崽幚怼?BR> 簡而言之，就是將微型陶瓷模塊組合到一塊雙面拋光的si基板上。
