自準(zhǔn)直儀測(cè)量精度-高度計(jì)可分辨高度約為微米
自準(zhǔn)直儀法測(cè)角
大于10°的角度是量角器可以區(qū)分的物理角度，其測(cè)量精度可
以達(dá)到約15弧分；對(duì)于小于2弧分的角度．是干涉儀可以區(qū)分的光
束偏離角．其測(cè)量精度為0．1弧秒。高度計(jì)可分辨的高度約為2μm
。幾種測(cè)量?jī)x之間的缺口部分可由
來(lái)填補(bǔ)�；诮咕嗪吞綔y(cè)器．自準(zhǔn)直儀的分辨率可以從30到0
．05弧秒，測(cè)量范圍從幾度到幾分。
多數(shù)自準(zhǔn)直儀是反射式讀取，這意味著讀取的是表面反射角度
．而非(翻倍的)反射鏡偏轉(zhuǎn)角度。折射和多次反射改變了這一比例
因子。
在操作中，自準(zhǔn)直儀是面向測(cè)試或參考對(duì)象的，返回光線的位
置是可對(duì)比的。這里有兩種基本模式：自身比較和參照對(duì)比。對(duì)于
平行平板或小楔角，前表面和后表面的返回光線可作比較；對(duì)于相
差180。(7c弧度)的情況，以順時(shí)針和逆時(shí)針?lè)祷毓饩�進(jìn)行比較；
對(duì)于任意角度的情況．則需要一個(gè)參考件。
