理想材料折射率與表面誤差質(zhì)量檢測(cè)顯微鏡

    ·理想材料折射率門與表面誤差占z，和如。的乘積；
    ·材料折射率的公差值與理想表面函數(shù)z，和z：的乘積。
    很明顯，加工公差值和材料公差值對(duì)波前相位公差的影響相同。
    制造與測(cè)量誤差
    在加工過(guò)程中，會(huì)引入加工誤差，包括光學(xué)元件表面與面形函數(shù)
設(shè)計(jì)值間的面形誤差，所選擇材料的折射率與材料庫(kù)中材料折射率的
偏差a7行。將這些誤差添加到測(cè)量誤差中，就形成了期望加工誤差的
預(yù)測(cè)值。

    設(shè)計(jì)人員利用加工誤差可以計(jì)算出波前的相位偏差，，然后與
設(shè)計(jì)的相位容限值泐h，比較，如果加工誤差值比設(shè)計(jì)值大，通常
情況下這個(gè)透鏡就是廢品。但是，如果這個(gè)透鏡比較貴重，也可以
采用以下幾種方式進(jìn)行處理：
    ·由于系統(tǒng)中其他透鏡具有更好的性能，補(bǔ)償此透鏡的不足；
    ·此透鏡可以通過(guò)重修實(shí)現(xiàn)預(yù)期性能；

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