不同的科研工業(yè)實(shí)驗(yàn)細(xì)節(jié)微觀層析孔壁微觀特征
中等分辨率微觀層析照相術(shù)
要實(shí)現(xiàn)lOμm的分辨率(中分辨率)，可采用錐形光束系統(tǒng)，這
種系統(tǒng)以傳統(tǒng)的微焦點(diǎn)X射線管為光源。這種裝置在INSA(法國里昂
)的CNDRI實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)配備。用這種系統(tǒng)，在光源和探測器之間可通
過調(diào)整樣品的位置來改變放大倍數(shù)。分辨率的極限值取決于微焦點(diǎn)
尺寸，它決定了目標(biāo)圖像的清晰度。這個(gè)尺寸有一定的最小限定值
，因?yàn)榧偃绻庠闯叽缣�，樣品面上的光流量會變得太低以至于�?BR>析系統(tǒng)記錄一張圖像所需的時(shí)問太長。在這種實(shí)驗(yàn)設(shè)備裝置中，可
用多色光源以保證合適的記錄時(shí)間。但這樣又可能會由于光束硬化
而引入人為的干涉，且還不能實(shí)現(xiàn)吸收系數(shù)p的定量重構(gòu)。
現(xiàn)在，在很多不同的科研和工業(yè)實(shí)驗(yàn)室都已具備這種標(biāo)準(zhǔn)的儀
器設(shè)備裝置，同時(shí)還有許多商用的便攜式高分辨率(可小至69m)儀
器可供選擇。
例如，部件的平均密度是宏觀參數(shù)，問題是：在連續(xù)生產(chǎn)中指定部
件密度的可重現(xiàn)性是怎樣的?相關(guān)性能的分散度變化多大是可以接
受的?給定部件在平均密度一定時(shí)，其性能也是分散的，因?yàn)椴考?BR>的內(nèi)部存在局部的密度分散，這可歸類于介觀水平上的變化。進(jìn)一
步的結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)屬微觀水平，形狀因二F、孔壁和結(jié)點(diǎn)的尺寸和微觀
特征上的變化都必須根據(jù)可接受的微觀變化范圍進(jìn)行統(tǒng)計(jì)量化和評
估。
